(一)晶体生长设备与系统集成国家联合工程中心
西安理工大学晶体生长设备与系统集成国家联合工程中心是根据国家发展改革委关于组织申报《国家地方联合工程研究中心项目方案的通知》(发改办高技〔2009〕1040号文件)精神,于2009年11月经国家发展与改革委员会批准组建成立,是我国目前在晶体生长设备领域唯一的国家级工程中心。
目前工程研究中心获得了包括“973”在内的数十项科研项目的支持,在晶体生长设备领域已获得授权专利23项,其中发明专利9件(包括国际专利2件),实用新型10件,软件著作权4件,承担的晶体生长设备制造技术横向和纵向课题超过400项,形成并掌握了具有自主知识产权的晶体生长设备制造技术,并且根据多年来形成的企业标准起草两部机械工业行业标准:单晶炉TDR系列直拉法单晶炉(JB/T10439-2004)和高压晶体炉TDR系列液封直拉法晶体炉(JB/T10789-2007),两部均列入国家标准计划,获国家级奖励2项、省部级奖励19项、厅局级奖励16项。发表了百余篇高水平学术论文,形成了系列化高端晶体生长设备的研制能力。
工程研究中心依托西安理工大学产业优势,面向国家和地方经济的需求开展技术合作和应用研究。经过不懈努力,目前已经形成了硅单晶和光学晶体生长设备、晶体生长工艺与自动控制技术研究、集成电路和超快光电导开关应用等多个特色鲜明、成效显著的研究方向,并组建了一支多学科融合高水平研究队伍。
荣誉成绩
2007年在国家“863”计划的支持下,自主研发成功国内首台TDR-150型单晶炉并通过国家科技部组织的验收,填补了国内空白,形成多项具有自主知识产权的专利技术。
2009年至2013年,中心承接并完成了国家科技重大专项02专项子题 “300mm硅单晶直拉生长装备的开发”项目。实现了65nm集成电路用高端硅晶体生长设备的国产化。
2012年工程中心在多年技术积累的基础上,申报“大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用”项目,获得国家科学技术发明二等奖。标志着中心相关科研成果达到了国内领先的技术水平。
在基础理论研究领域,中心于2015年获批了国家自然科学基金重点项目“大尺寸电子级硅单晶生长过程建模与控制研究”,为深入开展晶体生长领域的基础理论研究创造了条件。
中心积极推进科研成果的产业化,已为相关企业提供了千余套晶体生长设备成套技术。2014年完成了台湾明基集团友达晶材公司MCZ120型单晶炉科研任务。该设备配备大型勾型磁场,具备生产300-410mm直径电子级硅单晶体的能力。
(二)陕西省电工材料与熔(浸)渗技术重点实验室
1.实验室基本简介
陕西省电工材料与熔(浸)渗技术重点实验室,依托西安理工大学材料科学与工程一级学科(覆盖材料加工、材料物理与化学和材料学三个陕西省重点学科),于2005年批准建设,2010年12月通过验收。实验室主任梁淑华教授,实验室有教授15人,其中有国家突出贡献专家、国务院政府有特殊津贴专家、百千万人才国家级人选,中国青年科技奖获得者、教育部新世纪优秀人才、陕西省百人计划特聘教授等具有省部级以上人才称号的有 11人次,先后获国家科技进步二等奖1项,省部级一等奖3项;近5年主持863计划3项,国家自然基金重点项目3项,科技部重大国际合作项目2项,国家自然科学基金47项。陕西省重点科技创新团队1个,开发结构功能一体化异质金属材料新产品3类并进行了产业化,发表论文220余篇,SCI收录130篇。
2. 实验室建设背景
陕西省电工材料或熔渗技术重点实验室将针对我国高压电器设备不断改型、增容对电工材料提出的新需求,利用省内西电高压电器中央研究院对高压电器设备型式试验的地理优势,在高压断路器开关中的新型触头材料、高强高导铜合金、高温动密封材料等新型电工材料等研究领域奠定了很好的研究基础,形成了鲜明的研究特色。同时,陕西也是军工企业集聚地,随着武器装备的进步,对结构功能一体化的异质金属材料也提出了高可靠性的要求,而这些材料中许多材料都可以用熔(浸)渗技术制备,实验室集中优势力量开发电工材料并拓展熔浸渗制备技术的应用,可以有效地促进陕西高压电器装备制造业和军工企业的科技进步与技术水平的提高,提高相关产品国内国际竞争力。
3.实验室主要研究方向
(1)长寿命/大容量触头材料:该方向为实验室持续20余年的长期研究方向。目前,在前期研究和产业化的基础上开发满足特高压长寿命、大容量弧触头材料,以满足国内特高压电网全面建设提出的新需求。该方向2015年获批国家科技部863计划项目1项,2016年获批国家自然基金重点项目1项。(2)金属基复合材料:开展高强度高传导性的晶须/颗粒混杂增强铜基复合材料和铜铬锆系合金的制备工艺及相应生产设备的开发。该方向2016年已获批1项国家自然基金重点项目。(3)异质材料连接技术面:向陕西军工企业需求,开发军工需要的特种高强度高可靠性的结构功能一体化的关键部件并产业化。(4)高温超导及其复合薄膜研究:本研究方向探索新的高温超导材料,不断推进超导材料的实际应用。该方向2015年已获陕西省高等学校科学技术一等奖1项。(5)难熔金属钨钼材料研发与应用:本方向着力同步提高合金强度与延、韧性及使用寿命,并实现规模化生产。在该方向上2013年曾获1项陕西省科学技术奖。